Die C6-Reinraumenergiekette mit neuem e-spin Führungssystem ermöglicht abriebfestes Verfahren auf bis zu 30 m und erhält ISO Klasse 1 des Fraunhofer IPA

Köln, 22. April 2026 – Ob in der Mikroelektronik, der Halbleiter- oder der Batteriefertigung, überall geht es um Partikelfreiheit und maximale Prozesssicherheit. Mit steigender Automatisierung und stetig wachsenden Anlagen, werden auch die Wege für den Materialtransport länger. Eine zentrale Herausforderung dabei ist, eine zuverlässige Energie- und Datenversorgung bei minimaler Partikelemission zu gewährleisten. Stromschienen übertragen keine Daten, Energieketten brauchen meist komplexe Absaugsysteme für Mikropartikel. Mit der vom Fraunhofer IPA nach ISO Klasse 1 zertifizierten C6 Energiekette in Kombination mit dem neuen e spin Obertrumführungsrad bietet igus hierfür jetzt eine Lösung. Das System ermöglicht eine kompakte und langlebige Energieführung in Reinräumen – auch auf Verfahrwegen bis zu 30 m.

In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Siliziumwafer zahlreiche Prozessschritte – von der Lithografie über das Ätzen bis hin zur Metallisierung. Aufgrund der strengen Anforderungen an Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ein manueller Transport innerhalb des Reinraums nicht praktikabel. Stattdessen übernehmen immer häufiger automatisierte Systeme den sicheren und effizienten Transport der Wafer-Kassetten über lange Strecken. Zum Beispiel per Overhead Hoist Transport (OHT), ein Schienensystem, das die Kassetten unter der Decke bewegt. Das spart zwar Reinraumfläche, stellt Konstrukteure aber vor eine Herausforderung: die Versorgung des OHT mit Strom und Daten. „Stromschienen übertragen keine Daten und sind wartungsintensiv. Energieketten benötigen meist eine komplexe Absaugvorrichtung für Partikel. Der Bedarf an einer reinraumtauglichen, langlebigen und kostengünstigen Alternative ist in der Branche entsprechend groß“, erklärt Kira Weller, Produktmanagerin e-ketten und Reinraum-Expertin bei igus.

Rollen statt Gleiten mit neuem e-spin Führungssystem

Um das Dilemma zu lösen, hat igus für die C6-Reinraumenergiekette ein besonderes Führungssystem namens e-spin entwickelt. Dabei handelt es sich um Führungsräder, die wie alle igus Energieketten aus tribologisch, sprich auf Reibung und Verschleiß, optimiertem Hochleistungskunststoff bestehen. Die Räder sitzen zwischen Ober- und Untertrum der Energiekette. Die Kettenteile rollen dadurch aufeinander, statt zu gleiten – und das ohne weitere Partikelemission. „Die Energieketten lassen sich dank des e-spin Systems ohne Absaugeinheit in der Produktion innerhalb eines Reinraums nutzen. Konstrukteure reduzieren so bei der Energieführung von Transportsystemen die Komplexität und sparen dabei Kosten“, sagt Kira Weller. Konfigurieren lässt sich das Energiekettensystem zeitsparend über den e-ketten Experten auf der Website von igus. Gleichzeitig ist das System aus C6-Energiekette und Führungsrädern durch den eingesetzten Hochleistungskunststoff abriebfest, wartungsarm und besonders langlebig. Labortests in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IPA bestätigen: Das System erreicht bei einer Geschwindigkeit von 0,5 m/s die höchste Reinraumklasse ISO 1. Technische Grenzen möchte igus in Zukunft hinsichtlich höherer Geschwindigkeiten und längerer Verfahrwege weiter verschieben.

Mehr Informationen zu den Reinraum-Lösungen von igus finden Sie hier:
https://www.igus.de/branchen/reinraum